一文搞懂扫描电镜 技术解读与大功率半导体模块封装解析 SEM (扫描yi)

一文搞懂扫描电镜 技术解读与大功率半导体模块封装解析 SEM (扫描yi)

作者,老千和他的朋友们,在此特别鸣谢!扫描电镜,SEM,是利用电子束扫描样品表面,产生二次电子等信号,通过检测这些信号来获取样品表面形貌、成分等信息,SEM的优点是分辨率高,可观察到纳米级别的细节,景深大,能清晰呈现三维形貌,可同时进行成分......